經過蒸餾、冷凝操作的水稱為蒸餾水，蒸二次的稱為重蒸水，蒸三次的則稱為三蒸水。在制備低耗氧量的水時，可以加入高錳酸鉀與酸。蒸餾是一種利用混合液體或液-固體系統中各組分沸點差異的熱力學分離工藝，通過蒸發和冷凝兩種單元操作的聯合，將低沸點組分蒸發并冷凝，從而實現整個組分的分離。相比于其他分離手段如萃取、過濾結晶等，蒸餾的優點在于無需使用額外溶劑，從而確保不會引入新的雜質。