薄膜干涉分為等傾干涉和等厚干涉兩種類型。等傾干涉是指光線以傾角入射,在經過透鏡匯聚后形成干涉現象。由于入射角相同的光線在薄膜兩表面反射后形成的反射光在相遇點具有相同的光程差,因此它們形成相同的干涉紋。根據入射角的差異,不同傾斜度的光束反射后形成一些明暗交替的同心圓環,這種現象稱為等傾干涉。
而等厚干涉是指平行光線入射到厚度均勻變化、折射率均勻的薄膜上下表面后形成的干涉條紋。對于薄膜厚度相同的區域,會形成相同的干涉條紋,因此被稱為等厚干涉。牛頓環和楔形平板干涉都屬于等厚干涉的范疇。
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